半导体行业废水处理工艺流程（半导体废液如何处理才能达标）

半导体行业废水处理工艺流程（半导体废液如何处理才能达标） 标签：     添加时间：2022-11-30 浏览次数:3346

　　

       含氟废水处理系统至少设置两套，半导标一用一备，体行两级处理。业废艺流HF废水从水泵的水处自均和槽提升到第一反应槽，用于反应槽Ca(OH)2调节PH氟化钙产生后，理工理重力流入第二反应槽准确投入第二反应槽CaCL2.彻底反应废水中的程半F，同时仔细调整PH值至最佳点然后废水流入混凝土槽，导体加入混凝剂（PAC）产生的废液明矾花团，充分反应后的何处废水流入絮凝槽絮凝剂加入絮凝槽（PAM-），使明矾进一步凝结，半导标然后流入沉淀槽进行泥水分离HF二次处理工艺相同，体行二次处理工艺的业废艺流主要目的是进一步降低F离子浓度对F-连续在线检测，根据各级处理水质自动判断，水处合格废水经水泵加压后输送至废水中和处理系统进一步处理。理工理如果F检测指标不达标，程半将水排入应急池。

　　氟含氨废水工艺

　　锰砂处理含氨含氟废水RO浓缩吹掉二级空气酸洗吸收工艺处理。废水首先经过PH调整后，进入锰砂塔去除过氧化氢，过滤后进入活性炭和安全过滤器RO装置浓缩。RO检测合格后，装置的透水水排入中水池回用；浓缩液通过加入NaOH将废水PH提高至10.5~11.5热交换器后，将温度高到45℃~50℃之后，废水中的氨通过二次吹脱塔吹出。将含氨废气从吹出塔进入吸收塔，用硫酸溶液酸洗，形成硫酸铵溶液。二次吹脱处理合格的废水由泵加压输送至氢氟酸废水处理系统进一步处理，不合格的产水回到氟氨系统原水箱。硫酸铵溶液送厂外由专业承包商处理。

　　氨氮废水工艺

　　锰砂用于处理氨氮废水RO浓缩吹掉二级空气酸洗吸收工艺处理含氨含氟废水首先经过PH调整后，进入锰砂塔去除双氧水过滤后进入活性炭和安全过滤器RO装置浓缩RO经检测合格后，装置通过水排入中水池回用。加入浓缩液NaOH将废水PH提高至10.5~11.5.换热器将温度提高到45℃~50℃送入填料吹出塔后，将废水中的氨吹出二次吹出处理合格的废水由泵压力输送至酸碱中和处理系统进一步处理排放，不合格的产水返回氨氮系统原水箱将氨溶解在硫酸溶液中形成硫酸铵溶液。硫酸铵溶液送厂外由专业承包商处理。

　　CMP废水流程

　　CMP废水从水泵自均和槽提升到一级反应槽，在反应槽中调整PH重力流进入二级反应槽在快速混合槽中加入絮凝剂（PAC）帮助明矾生成，充分反应后的废水流入慢混合槽在慢混槽中加入混凝剂（PAM），使明矾继续变大，然后流入斜板沉淀槽进行泥水分离，溢出的水流入产水槽通过连续在线仪器检测SS指标：合格的废水经水泵加压后输送至废水中和处理系统进一步处理。检测槽检测废水不符合合格标准的，自动切入应急水槽，将不合格废水引入应急水槽暂时储存，然后用水泵将废水回收CMP废水处理系统和槽再处理，直至合格。

　　含铜废水工艺

　　含铜废水从水泵自均和槽提升到一级反应槽，在反应槽中调整PH氢氧化铜沉淀后，重力流入二次反应槽二次反应槽中废水的细调PH在混凝土槽中加入絮凝剂（PAC）形成明矾，反应后的废水流入絮凝槽在絮凝槽中加入混凝剂（PAM），使明矾继续变大，然后流入沉淀池进行泥水分离，溢出的清水流入水槽对Cu2连续在线检测，合格废水经水泵加压后输送至废水中和处理系统进一步处理如果检测槽检测废水未达到合格标准，则自动切入应急水槽，将不达标废水引入应急水槽暂时贮存，然后用水泵将该废水打回含铜废水处理系统均和槽再次进行处理直至合格。

　　生活污水处理系统流程

　　生活污水处理系统可设置单套。生活污水的处理采用埋地一体化A/O处理过程。处理后的水升至酸碱一级pH调节池处理排放。

　　酸碱废水工艺

　　一般不可回收无机酸碱废水、纯水站酸碱再生废水以及其它经处理合格的废水均集中于该系统进行处理。酸碱废水自均和槽依靠重力流过中和反应槽和出水检测槽，并在出水检测槽中在线连续检测pH值、TOC、TCu、SS、NH4OH、TP、TN、F-浓度若水质检测达到废水排放标准，出水直接排入室外排水管网；如果水质检测不符合废水排放标准，关闭排水阀，将不合格废水通过应急泵吸水压力引入应急水槽暂时储存，然后用水泵将废水回到相应的系统，直至达到标准排放。

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